Normenindex
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Bitte beachten Sie: Der Volltext der Ö-Normen ist urheberrechtlich geschützt und kann ausschließlich über die Website des österreichischen Normungsinstitutes bestellt werden.
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Normdatenbank:
Dokumenten Nummer:
ÖNORM EN ISO 23131
Klassifikation:
ST*N
Preisgruppe:
FM=22
Bezeichnung:
Ellipsometrie - Grundlagen (ISO 23131:2021)
zitierte Normen:
II=ISO 23131:2021 (2021) ,IDT*EN ISO 23131 (2022 11) ,IDT
ersetzte Normen:
RX=
identische Norm:
AS=
Registriert als:
AD=Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkred
Autor:
Komitee 050 Beschichtungsstoffe
Referenz:
PQ=Preisgruppe 17
übersetzt in:
de*en
english text:
Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021)
Description:
CT=Reflexion*Fertigungskontrolle*Oberflächeneigenschaft*Spektralbereich*Schichtdickenmessung*Schicht*Qualitätssicherung*Produktionskontrolle*optisch*metallisch*Ellipsometrie*Messverfahren*Licht*Konstante*Bestimmung der Dielektrizitätskonstanten*polarisiert*B
francoise:
Ellipsométrie - Principes (ISO 23131:2021)
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